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超精密光學技術
超精密驅動控制與信息處理

超精密驅動控制技術是精密光學系統研制的核心關鍵技術之一。通過微位移驅動器運動控制技術和高精度傳感器標定技術,實現對物鏡光學系統像質的實時在線調節及離線維護。


光機系統集成與裝調

團隊基于對超精密微位移控制技術和微環境控制技術的研究及攻關,建立了一套壓電驅動器閉環運動控制算法及PZT模糊遲滯模型的建模方法,有效降低了壓電驅動器遲滯非線性的影響,提高了壓電驅動器響應速度與控制精度;建立了一種提高電容傳感器測量線性度的方法,線性度標定后傳感器線性度提高至0.00484%。

目前團隊擁有齊全的超精密微位移測試平臺、半實物仿真平臺、傳感器與驅動器測試系統、電子學儀器儀表、工控機箱、高精度溫度控制單元、高精度溫度/壓力傳感器,溫度標定平臺等,涵蓋微位移傳感器測試與標定、精密壓電驅動器測試平臺、嵌入式電子學實驗平臺、嵌入式軟件測試平臺、高精度電子學測量儀器儀表、高精度溫度測量及校準。配套滿足超精密運動控制技術需求,能夠全面支撐超精密光學系統的微位移運動需求。


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